Eagle XV真空腔內(nèi)直接探測X射線相機

英國Raptor公司的Eagle XV系列相機是專門為真空特殊工作環(huán)境設(shè)計的，可以直接放置在真空腔室內(nèi)。相機采用了Teledyne e2v公司的減薄背照式CCD芯片，100%的填充因子，可直接探測從真空紫外（極紫外）到軟X-ray波段（2eV-20keV能量范圍）。

Eagle XV真空腔內(nèi)直接探測X射線相機

主要特性：

• X-ray直接探測

• 可整機放置在真空腔室內(nèi)，提供完整真空饋通的解決方案

• 采用Teledyne e2v公司背照減薄CCD

• 探測能量1.2eV-20keV

• TEC深度制冷至-80℃，暗電流小于0.0004e-

• 超高動態(tài)范圍高達93dB/43000:1

典型應(yīng)用：

X-ray顯微成像、斷層影像、相襯成像和源特性、X-ray等離子診斷、晶體學(xué)、極紫外/真空紫外成像、全息成像和半導(dǎo)體光刻、高次諧波產(chǎn)生

>>X-ray衍射（XRD）

X-ray衍射是一種研究物質(zhì)特性的技術(shù)，如大分子、晶體、粉末、 聚合物和纖維。 當(dāng)X-ray穿過物質(zhì)時，它們與原子中的電子相互作用，并分散開 來。如果原子是在平面上組織的（即物質(zhì)是結(jié)晶的），并且原子之間 的距離與X-ray的波長大小相同，則會發(fā)生構(gòu)造性和破壞性的干涉， 并形成衍射圖案。根據(jù)所研究物質(zhì)的種類，可以使用單色X-ray、粉 紅束（窄帶）X-ray或白束（寬帶）X-ray。

>>極紫外（EUV）光刻

半導(dǎo)體工業(yè)使用波長從 365nm 到 248nm 到 193/157nm 的光 源，其特征尺寸小于100nm，但已達到光刻技術(shù)的極限。認(rèn)識到這 一限制，該行業(yè)在過去幾年中一直在尋找一種潛在的后繼技術(shù)，以生 產(chǎn)小于100nm的特性。半導(dǎo)體工業(yè)研究的下一代光刻技術(shù)包括超視 距光刻、X-ray光刻、離子束投影光刻和電子束投影光刻。盡管EUV 光刻技術(shù)也有其挑戰(zhàn)，但它經(jīng)常被使用，因為它保留了上述光刻技術(shù) （波長13.5nm）的外觀和感覺，以及使用了相同的基本設(shè)計工具。 因此，直接探測X-ray相機為光刻系統(tǒng)工作中提供了好的診斷 和監(jiān)控手段。

>>軟X-ray顯微鏡

軟X-ray顯微鏡用于研究生物、材料科學(xué)和其它樣品的元素組成 和結(jié)構(gòu)。這些顯微鏡的波長范圍在4.0埃（-3.0keV）到44埃（-300 eV）之間，能夠?qū)崿F(xiàn)數(shù)百埃的空間分辨率，比可見光顯微鏡的最大 分辨率高出約10倍。 軟X-ray顯微鏡具有設(shè)計簡單，能夠在近自然環(huán)境中形成厚的含 水生物樣品的高空間分辨率圖像，而無需電子顯微鏡所需的耗時制 備的特點。由于生物樣品主要由氫、碳、氧和氮組成，它們的主要 吸收邊緣（除氫以外）位于碳（284eV，4.4nm）和氧（543eV， 2.3nm）吸收邊緣之間的水窗中，軟X-ray顯微鏡提供出色的光譜信 息，并提供高對比度圖像。

水中軟X-ray和生物樣品中主要元素的吸收長度

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